半導體工業已經超過傳統的鋼鐵工業、汽車工業,成為21世紀的高附加值、高科技產業。半導體是許多工業整機設備的核心,普遍應用于計算機、消費類電子、網絡通信、汽車電子等核心領域。 半導體主要有四個組成部分:集成電路、光電子器材、分立器材和傳感器;集成電路是半導體工業的核心,占到了80%以上。集成電路包括邏輯芯片、存儲芯片、模擬芯片和mpu等。集成電路在性能、集成度、速度等方面的快速發展是以半導體物理、半導體器件、半導體制造工藝的發展為基礎的。 半導體業如此巨大的市場,半導體工藝設備為半導體大規模制造提供制造基礎。未來半導體器件的集成化、微型化程度必將更高,功能更強大。以下附送半導體生產過程中的主要設備。